半導(dǎo)體工業(yè)是真空泵最大應(yīng)用領(lǐng)域，也是當(dāng)前主要的增長(zhǎng)動(dòng)力。ISVT數(shù)據(jù)顯示，2019 年全球真空設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模約 350 億元，其中半導(dǎo)體用真空設(shè)備約 135 億元，占比約 38%。ICInsights預(yù)計(jì)，到2025年全球半導(dǎo)體真空泵的設(shè)備與服務(wù)需求達(dá)到217億元。

　　真空泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的多個(gè)工藝環(huán)節(jié)，包括半導(dǎo)體大硅片生產(chǎn)環(huán)節(jié)的單晶爐，在晶圓制造環(huán)節(jié)的光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)等，以及在封測(cè)環(huán)節(jié)的模塑設(shè)備領(lǐng)域等。

　　真空系統(tǒng)對(duì)半導(dǎo)體工藝環(huán)節(jié)品質(zhì)影響很大，直接關(guān)系到芯片的性能和良率。只有在高品質(zhì)的真空環(huán)境下，才能有效地控制加工和測(cè)試中的氧化、污染等問(wèn)題，從而保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和可靠性。

　　近年來(lái)，半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)真空泵要求越來(lái)越高，需要將制造過(guò)程控制在更小的尺寸，要實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，半導(dǎo)體工藝就必須在極度受控的真空環(huán)境下以更高精度和均勻性執(zhí)行更多的半導(dǎo)體制造過(guò)程步驟，以提升產(chǎn)品品質(zhì)和生產(chǎn)效率，這就對(duì)真空泵的真空潔凈度和穩(wěn)定性提出更嚴(yán)苛的要求。

　　此外，由于半導(dǎo)體制造每條生產(chǎn)線不同，工藝需求也不同，要求真空泵具備高度的自動(dòng)化和智能化，可以根據(jù)工藝要求自動(dòng)調(diào)節(jié)真空度和泵速，提高生產(chǎn)效率和穩(wěn)定性。

　　而傳統(tǒng)真空泵一般是使用水或油進(jìn)行真空階段的密封或潤(rùn)滑，可能會(huì)產(chǎn)生不同類(lèi)型的污染和氣體浸染，無(wú)法滿足清潔無(wú)油及耐腐蝕的要求，在一定程度上會(huì)影響真空系統(tǒng)的質(zhì)量。盛源推出的新一代無(wú)油真空泵，雙倍高真空、無(wú)油低環(huán)保、低熱高效，進(jìn)一步優(yōu)化半導(dǎo)體真空工藝，不僅消除半導(dǎo)體工藝中的油污染，而且運(yùn)行成本低，因此備受客戶青睞。

　　1.高真空，滿足半導(dǎo)體工藝需求

　　盛源無(wú)油真空泵采用高精密高可靠真空泵頭，含高精密過(guò)濾器，深度過(guò)濾雜質(zhì)，真空更潔凈，二級(jí)真空最高可達(dá)1000pa，同時(shí)抽氣快、狠和穩(wěn)，滿足半導(dǎo)體各工藝環(huán)節(jié)對(duì)真空環(huán)境高品質(zhì)、高穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。

　　2.無(wú)油環(huán)保，保護(hù)工件免受污染

　　采用進(jìn)口皮碗原料，氣缸內(nèi)壁特殊處理，形成自潤(rùn)滑，因此真空泵無(wú)需加油潤(rùn)滑即可運(yùn)行，不僅環(huán)保，而且確保半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)品品質(zhì)。

　　3.免于維護(hù)，配件可靠經(jīng)久耐用

　　盛源無(wú)油自潤(rùn)滑技術(shù)，讓設(shè)備免于維護(hù)，而且在長(zhǎng)久運(yùn)行真空度有所下降的情況下，也僅需更換易損件，更換一下，至少可以運(yùn)行8000H以上。此外，核心配件采用進(jìn)口品牌，確保產(chǎn)品壽命更長(zhǎng)，降低客戶使用成本。

　　4.低熱高效、低噪靜音，保障安全

　　半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中，有害氣體比較多，泵腔內(nèi)溫度過(guò)高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會(huì)容易發(fā)生危險(xiǎn)。盛源新一代無(wú)油真空泵采用純銅電機(jī)，專(zhuān)業(yè)電機(jī)設(shè)計(jì)，滿足24H連續(xù)運(yùn)行，溫低至50K，電機(jī)能效比高，極低發(fā)熱量，避免危險(xiǎn)事件發(fā)生。

　　此外采用四級(jí)低轉(zhuǎn)速電機(jī)，四缸對(duì)稱(chēng)設(shè)計(jì)，振動(dòng)小，噪音低到60dB(A)，滿足半導(dǎo)體的特殊工藝要求。

　　5.高度自動(dòng)化，靈活調(diào)節(jié)真空度

　　在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，由于每條生產(chǎn)線工況都不相同，客戶需要定制化產(chǎn)品和解決方案，盛源新一代無(wú)油環(huán)保真空泵配置微電腦真空表，可靈活調(diào)節(jié)真空度，精確顯示真實(shí)參數(shù)，使用方便快捷，能滿足不同半導(dǎo)體不同產(chǎn)線工藝需求。

　　盛源無(wú)油真空泵不僅適用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，而且還廣泛應(yīng)用于機(jī)器人自動(dòng)化行業(yè)、包裝機(jī)、醫(yī)療行業(yè)、航天實(shí)驗(yàn)室、精密儀器、電子印刷等領(lǐng)域。盛源是國(guó)內(nèi)最早從國(guó)外引進(jìn)無(wú)油真空泵并自主改進(jìn)研發(fā)制造的企業(yè)，始終重視產(chǎn)品質(zhì)量和性能升級(jí)，在無(wú)油真空泵領(lǐng)域具有25年的研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn)，具有專(zhuān)業(yè)化的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，掌握無(wú)油真空泵關(guān)鍵技術(shù)專(zhuān)利，把“為客戶有價(jià)值的產(chǎn)品”作為經(jīng)營(yíng)理念，憑借高質(zhì)量高效率高穩(wěn)定性的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)，已獲得海內(nèi)外500強(qiáng)企業(yè)的青睞。